History of the UHV in Taiwan

同步輻射研究中心真空組大事紀

1984年

• 07月 建立超高真空實驗室 (新竹市清華大學工程一館)
• 07月 開啟國內首度研究鋁合金超高真空腔(購自日本)之表面釋氣及水釋氣
• 09月 建立化學清洗室

1985年

• 01月 國內自製不銹鋼超高真空系統首次抽氣達到4×10-12 Torr (VGM-004)
• 07月 設置完成測量真空釋氣與抽氣速率之標準測試真空系統 (VGM-023)
• 09月 建立鋁合金銲接室 (VGM-028)

1986年

• 06月 建立國內第一套自製之二次離子質譜儀(SIMS) (VGM-059...062)
• 07月 建立FODO磁格不銹鋼長直段原型真空腔(2×10-10 Torr) (VGM-063...066)
• 08月 建立輝光放電清洗研究真空系統 (VGM-068...070)
• 10月 建造完成FODO磁格不銹鋼轉彎段原型真空腔(含DIP) (VGM-077...080)

1987年

• 01月 (1) 在台灣首度成功自製鋁合金法蘭 (VGM-089...091)
•         (2) 開啟鋁合金分布式離子幫浦與三極式離子幫浦在台灣自製以及抽氣性能測試，研究成果受國際重視及引用
• 04月 完成TBA磁格之儲存環真空系統初步設計 (VGM-100...104)
• 10月 自製TBA磁格之鋁合金直段原型真空腔(5×10-11 Torr) (VGM-128...130)
• 12月 自製TBA磁格之鋁合金轉彎段原型真空腔(8×10-11 Torr)

1988年

• 08月 完成TBA磁格之儲存環六分之一段真空系統設計 (VGM-166...169b)
• 1989年
• 01月 準備遷入新物理館：2/27遷入ESD系統 (VGM-188)；3/20遷入TDS系統 (VGM-191)
• 05月 國內自製第一套不銹鋼高溫真空烘烤爐(550℃；5×10-6 Torr) (VGM-197...201)

1990年

• 06月 建立國內標準之超高真空無塵室、化學清洗室、銲接室 (位於科學園區現址) (VGM-249...251)
• 11月 完成儲存環六分之一段真空系統建造與真空測試 (VGM-270...271)

1991年

• 10月 配合磁鐵、高頻腔完成儲存環十二分之一段真空系統模擬安裝與測試 (VGM-311...314)

1992年

• 08月 完成傳輸線真空系統國內製造與現場安裝 (VGM-352)
• 12月 完成儲存環全段真空系統現場安裝 (VGM-364...367)

1993年

• 07月 完成儲存環真空系統全段烘烤(5×10-10 Torr)

1994年

• 06月 首次研製成功鋁合金扁平型插件磁鐵真空腔(長3m，外高21.5mm)

1995年

• 02月 完成Wiggler增頻磁鐵真空腔(長3m，外高21.5mm)現場安裝(W20/R5)與臨時光束線(S-5)安裝試車
• 06月 完成國內自製第一組長1.6m大型反射鏡箱真空腔(3×10-10 Torr)
• 10月 安裝U10P真空腔及第一組測量聚頻磁鐵光源位置偵測器

1996年

• 03月 成功開發扁平型聚頻磁鐵真空腔(長4m，外高14mm)與安裝試車
• 12月 完成國內首度建造X光光刻術光束線(B-14)與安裝

1997年

• 03月 完成新聚頻磁鐵真空腔(長4m，外高17mm)之研製兩組與現場安裝(EPU/R2；U5/R3)、試車成果良好